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PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜,浙江管式爐廠家**。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,浙江管式爐廠家**,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的,浙江管式爐廠家**。 真空管式爐爐膛材料采用的進(jìn)口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節(jié)能50%。浙江管式爐廠家**
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達(dá)到表面鈍化和體鈍化的目的。浙江真空箱式爐批發(fā)價真空管式爐在使用離心機之前,將其放置在穩(wěn)固,堅固的地面上。
立式管式爐的詳細(xì)使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達(dá)到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。
箱式爐的安全操作:1、清理爐內(nèi)鐵屑,清掃爐底板,以免鐵屑落于電阻絲上造成短路損壞。2、入箱式爐的工件應(yīng)不超過爐底板.大載荷量,裝卸工件時應(yīng)確保電源斷開的情況下進(jìn)行。3、汪意檢查熱電偶安裝位置。熱電偶插入爐內(nèi)后,應(yīng)保證不與工件相碰。4、根據(jù)工件的圖紙要求,試驗箱式爐,確定合理的工藝范圍。按時升溫,保證出爐操作,經(jīng)常檢查儀表溫度并進(jìn)行校準(zhǔn),防止誤操作。5、為保證爐溫,不能隨便打開箱式爐爐門,檢查爐內(nèi)情況應(yīng)從爐門孔中觀察。6、冷卻劑應(yīng)放置于就近方便的位置,減少工件出爐后降溫。7、出爐時應(yīng)工位正確,夾持穩(wěn)固,防止熾熱工件傷害人體。8、箱式爐檢修后,必須按規(guī)定進(jìn)行烘烤,并檢查爐堂及頂部保溫粉是否填滿,接地是否與爐殼緊固。 箱式氣氛爐電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),結(jié)構(gòu)緊湊、占用空間小。
PECVD管式爐的使用注意事項:爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議選購減壓閥,使用時會更加安全。當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。石英管的長時間使用溫度<1100℃。對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生。立式爐升溫快、高節(jié)能、高精度、高穩(wěn)定性、保溫性能好。東莞箱式爐高校實驗室**
立式爐是真空爐的一種,是在在真空環(huán)境中加熱的一種設(shè)備。浙江管式爐廠家**
多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng):一、爐子使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。二、爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃),嚴(yán)禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應(yīng)力的均勻釋放,以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是石英管的一個固有缺陷,屬正常現(xiàn)象。三、管式爐在氣氛條件下使用,氣體在高溫下會膨脹,導(dǎo)致管內(nèi)壓力變大,使用者應(yīng)及時開啟針閥,排出氣體。 浙江管式爐廠家**
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3146332.html
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