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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇石頭減薄機(jī)大全,減薄機(jī)
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藍(lán)寶石減薄機(jī)是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機(jī)器,江蘇石頭減薄機(jī)大全。該減薄機(jī)由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm,江蘇石頭減薄機(jī)大全。砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格,江蘇石頭減薄機(jī)大全,砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對工藝的要求定制。砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速,可根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減薄機(jī)直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格。江蘇石頭減薄機(jī)大全
在顯示屏制作工藝中增加減薄工藝,通過物理和化學(xué)方法使顯示器厚度達(dá)到輕薄化的目的,目前玻璃化學(xué)腐蝕工藝主要使用氫氟酸混合物對液晶玻璃進(jìn)行減薄,減薄時使用刻蝕液的刻蝕方式有浸泡式、液晶玻璃雙面噴灑式以及以及單面的瀑布流式,由于浸泡式、液晶玻璃雙面噴灑式都具有刻蝕后表面不光滑的現(xiàn)象,所以越來越多的使用瀑布流式?,F(xiàn)有技術(shù)對于液晶玻璃減薄,液晶玻璃的刻蝕工藝以及清洗工藝是分開操作,操作過程較為繁瑣,噴灑機(jī)構(gòu)滿足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蝕,為此,我們提出一種集刻蝕工藝以及清洗工藝為一體的適用于瀑布流式玻璃減薄的液晶玻璃減薄機(jī)來解決上述問題。江蘇石頭減薄機(jī)大全橫向減薄機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理:當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計。為了實現(xiàn)晶圓的延性域磨削,提高減薄質(zhì)量,通過減小砂輪軸向進(jìn)給速度實現(xiàn)微小磨削深度,因此,要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min。另外,為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下,要盡可能實現(xiàn)高速返回。國內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀:國外硅片超精密磨床制造起步較早,發(fā)展迅速,技術(shù)先進(jìn)其中美國,德國,日本等發(fā)達(dá)國家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。橫向減薄機(jī)平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。半自動雙軸減薄機(jī)配置自動厚度測量和補(bǔ)償系統(tǒng),產(chǎn)品粗磨后移動至精磨位置,自動研削至目標(biāo)值。兩個砂輪軸,無需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工;全自動減薄機(jī)是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備,采用晶圓機(jī)械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能,可實現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動研削加工。
減薄機(jī)采用真空吸盤,硅片等脆性材料要求減薄厚度在微米之間,比較容易損壞,甚至可能在磨削過程中已經(jīng)損壞,比較難磨削達(dá)到要求。并且硅片、蘭寶石在磨削過程中產(chǎn)生熱量比較小,它們本身自帶散熱性,而陶瓷片等不具有散熱性或散熱性比較小,片子磨削較薄,在磨削產(chǎn)生熱量和冷卻過程中,由于表面和內(nèi)部產(chǎn)生溫差,膨脹程度不同而形成過大的內(nèi)應(yīng)力,將會引起片子的變形和損壞,減薄的片子本身材料脆,厚度薄,比較難確保在厚度達(dá)標(biāo)的情況下保證片子完好無損。藍(lán)寶石減薄機(jī)由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。立式藍(lán)寶石減薄機(jī)在目前LED藍(lán)寶石生產(chǎn)線上,被公認(rèn)為目前國內(nèi)極 好的減薄機(jī)。
新型的減薄機(jī)吸盤裝置,包括砂輪主軸及通過螺釘安裝在砂輪主軸下方的砂輪,其砂輪主軸上端連接有動力驅(qū)動裝置;其特征在于:的砂輪主軸通過螺釘與砂輪組成一體式結(jié)構(gòu)的磨削裝置,其的磨削裝置下方設(shè)有磨削工作臺,的磨削工作臺包括真空裝置及通過螺釘安裝在真空裝置上方的吸盤,由于真空裝置的腔體與吸盤形成了一體式的真空吸盤,且吸盤上通過真空吸附有上設(shè)有簇狀吸附孔的散熱工作臺,且散熱工作臺由鋁或不銹鋼或鋁箔制成,其使吸盤的真空吸附通過簇狀吸附孔將磨削工件吸附在散熱工作臺上。減薄機(jī)減薄后的襯底背后還存在表面損害層,從而影響成品率。江蘇石頭減薄機(jī)大全
減薄機(jī)具有自動測厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。江蘇石頭減薄機(jī)大全
全自動減薄機(jī)是配有全自動上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備,采用晶圓機(jī)械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能,可實現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動研削加工。產(chǎn)品特點(diǎn):1、功能周全:具有自動測厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求。2、配置豐富:可配置單軸、雙軸研削單元。3、全自動系統(tǒng):全自動上下片,干進(jìn)干出的全自動研削系統(tǒng)。4、兼容性好:可根據(jù)客戶需求定制各類工作臺,滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝。江蘇石頭減薄機(jī)大全
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3161049.html
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