PECVD管式爐的具體工藝流程？硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在，促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離，促進反應(yīng)活性基團的生成，廣州馬氟爐，從而降低沉積溫度。PECVD在200℃～500℃范圍內(nèi)成膜，遠小于其它CVD在700℃～950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中，廣州馬氟爐，使硅片中懸掛鍵飽和，廣州馬氟爐、缺陷失去活性，達到表面鈍化和體鈍化的目的。馬弗爐按加熱元件區(qū)分有：電爐絲馬弗爐、硅碳棒馬弗爐、硅鉬棒馬弗爐。廣州馬氟爐

    深圳市迪斯普設(shè)備有限公司真空箱式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和廈門宇電50段程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，真空電阻爐普遍應(yīng)用于金屬材料在低真空、還原性、保護性氣氛下的熱處理；也可以用于特殊材料的熱處理。二、設(shè)備特點1、設(shè)計理念本系列陶瓷纖維爐襯熱處理爐引進國外先進技術(shù)、秉承歐洲工業(yè)爐高性能、自動化程度高、操作界面簡單易學(xué)的特點；2、自動化控制1.控溫方式：控溫?zé)犭娕己椭悄軘?shù)顯溫控儀表、可控硅模塊和移相觸發(fā)系統(tǒng)、電加熱元件組成閉環(huán)控制系統(tǒng)，自動控制爐內(nèi)各區(qū)的溫度，并保持全爐膛內(nèi)溫度均勻一致；2.負載恒流、恒壓、恒功控制技術(shù)，根據(jù)不同負載特性，有效的保護斷電引起損壞負載問題；3.可設(shè)置多條時間曲線，曲線總段數(shù)多達20段；4.具有“給定值+時間值”和“升溫段+恒溫段”兩種程序設(shè)置模式可選；5.所有參數(shù)可按鍵設(shè)定，數(shù)據(jù)自動保存不丟失；3、一體化結(jié)構(gòu)電控系統(tǒng)與爐體一體化結(jié)構(gòu)、操作簡單，減少占位。 東莞箱式氣氛爐零售價格馬弗爐溫度超過600度后不要打開爐門。等爐膛內(nèi)溫度自然冷卻后再打開爐門。

    立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前，要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格，并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的，這個之后程序表就有了電，然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表，根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序，打開加熱旋鈕，讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度；立式管式爐在工作的時候，不能打開爐門，在取出產(chǎn)品的時候，要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以；立式管式爐在升溫加熱的時候，其加熱功率不能超過6千瓦，否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂，爐溫不得超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯，禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐膛。             

    立式爐保養(yǎng)編輯在鍋爐長期停用時，應(yīng)十分注意爐體外部的防腐保養(yǎng)問題。首先在鍋爐停爐冷卻后，必須徹底清理受熱面的積灰和爐排上部、爐體下部的灰渣。然后要保持煙道有一定的自然通風(fēng)。一般情況下，為了防潮應(yīng)在爐膛、煙道中放置干燥劑。如以生石灰作為干燥劑，則每立方米爐膛或煙道內(nèi)一般應(yīng)放置3kg左右。放置后應(yīng)嚴密關(guān)閉所有的通風(fēng)門。生石灰變粉后要更換。如鍋爐房位置低洼，停爐期間地面泛潮嚴重時，則應(yīng)采用經(jīng)常小火烘烤和放置干燥劑相結(jié)合的辦法。如果鍋爐停爐時間很長，在徹底清理煙灰后在爐體金屬外表面涂以紅丹油或其它防腐漆。至于爐體內(nèi)部停爐的防腐保養(yǎng)方法，則要按停爐時間的長短來定。一般情況下，停爐不超過一個月的可用濕法保養(yǎng)，一個月以上的應(yīng)采取干法保養(yǎng)。                          馬弗爐一次使用或長期停用后再次使用時，必須進行烘爐干燥。

pecvd管式爐煙囪和煙道：其作用是將爐膛的煙氣排入大氣中，cvd管式爐，內(nèi)部均用耐火和保溫材料襯里。為調(diào)節(jié)煙氣排除速度，還裝有可活動擋板。煙氣流動為上抽式的加熱爐煙囪安裝在對流室上部；煙氣流動為下行式的加熱爐，煙囪安裝在爐側(cè)，并設(shè)有煙道。吹灰器：其主要作用是防止積灰，管式爐膛，盡量保持爐管表面始終干凈，pecvd管式爐，用以強化對流管的對流傳熱，管式爐，提高爐的熱效率。煉廠應(yīng)用的吹灰器有自動伸縮式和固定旋轉(zhuǎn)式兩種。真空管式爐使用后，速度調(diào)節(jié)旋鈕應(yīng)旋轉(zhuǎn)回“0”，然后停止。浙江PECVD管式爐參考價格

馬弗爐使用時爐膛溫度不得超過較高爐溫，也不得在額定溫度下長時間工作。廣州馬氟爐

    儀表的內(nèi)部參數(shù)不要亂改，以防電爐不能正常運行。爐門輕關(guān)輕拉。1、爐子初次使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。2、禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。3、爐體若采用硅鉬棒做加熱元件，依據(jù)硅鉬棒的物理特性，常溫下脆性很大，因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動爐體。4、冷爐使用時，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐膛。5、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。6、硅鉬棒作為加熱元件時不宜在400-700℃溫度段長時間運行，否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。 廣州馬氟爐

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