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研磨減薄機(jī)由法蘭、壓蓋、活動(dòng)墊圈、調(diào)節(jié)手柄、定位盤(pán)、靜磨片、法蘭II、動(dòng)磨片、輸送推進(jìn)器、冷卻水循環(huán)系統(tǒng)、機(jī)械密封件、水沖式機(jī)械密封裝置、電動(dòng)機(jī)、調(diào)節(jié)盤(pán)、殼體、在位清洗裝置、底座組成,水沖式機(jī)械密封裝置設(shè)在主軸上,機(jī)械密封件設(shè)在水沖式機(jī)械密封裝置兩端;冷卻水循環(huán)系統(tǒng)設(shè)在水沖式機(jī)械密封裝置外部,與輸送器一端相連接;動(dòng)磨片設(shè)在輸送器的另一端,動(dòng)磨片制成錐形;靜磨片與動(dòng)磨片相配合,靜磨片對(duì)應(yīng)制成錐形;活動(dòng)墊圈位于靜磨片的后面和調(diào)節(jié)盤(pán)前方,耐磨、抗腐蝕、難變形、調(diào)整靈巧、穩(wěn)定性好、精度高,浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司、操作簡(jiǎn)單、高效節(jié)能,浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司,浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司。減薄機(jī)工作原理和特點(diǎn):采用PLC程序控制器,控制整機(jī)的動(dòng)作,自動(dòng)化程度高。浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司
減薄機(jī)維修與保養(yǎng):1.經(jīng)常檢查電器控制系統(tǒng)靈敏可靠。2.打開(kāi)容器上蓋,用手撥動(dòng)偏心體應(yīng)無(wú)阻礙現(xiàn)象,且轉(zhuǎn)動(dòng)靈活。3.接能電源后,進(jìn)行空運(yùn)轉(zhuǎn),應(yīng)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),無(wú)異常噪聲。當(dāng)出現(xiàn)異常和吃重現(xiàn)象時(shí),要停止運(yùn)轉(zhuǎn)。這種情況是由于振動(dòng)電機(jī)軸承發(fā)生磨損失效,應(yīng)根據(jù)不同的情況,有必要采取相應(yīng)的措施,需要加潤(rùn)滑油或更換軸承。4.該型減薄機(jī)在工作過(guò)程中產(chǎn)生劇烈振動(dòng),應(yīng)特別注意各部位螺栓有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象,尤其是固定振動(dòng)電機(jī)的螺栓應(yīng)定期檢查。發(fā)現(xiàn)有松動(dòng)情況要及是擰緊,在擰緊螺栓時(shí),應(yīng)注意振動(dòng)電機(jī)法蘭與螺旋容器法蘭保持平行。如果偏于一方擰緊的話,螺栓容易松開(kāi),產(chǎn)生劇烈噪音,嚴(yán)重時(shí)螺栓被切斷,造成螺旋容器、振動(dòng)電機(jī)損壞泊設(shè)備事故,因此切不可麻痹大意。減薄機(jī)在磨削時(shí)具有的優(yōu)點(diǎn):高效的磨削效率。浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司減薄機(jī)在很大程度上已經(jīng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng),這樣可以提高生產(chǎn)的效率以及生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量。
機(jī)器都有一定的使用壽命,研磨減薄機(jī)同樣也有,要想較大限度的發(fā)揮它的作用,減少機(jī)器的磨損,延長(zhǎng)它的使用壽命,作為使用者的我們就應(yīng)多加注意了。首先,在使用過(guò)程中就應(yīng)遵守操作的具體步驟,確定不能突然的切斷電源或者違反操作步驟,這樣會(huì)損害到機(jī)器。其次就是平時(shí)需要做好保養(yǎng)工作,保養(yǎng)的好才能恰到好處的延長(zhǎng)其使用壽命,使用時(shí)也能更好的發(fā)揮它的作用。除此之外,平時(shí)不使用機(jī)器的時(shí)候,也要勤擦洗,灰塵的堆積也會(huì)導(dǎo)致機(jī)器使用時(shí)的故障。如今這個(gè)時(shí)代,是一個(gè)人類需要與機(jī)器共同發(fā)展的時(shí)代,我們需要機(jī)器的協(xié)助,同時(shí)我們也需要善待我們的機(jī)器,使之能更好的為我們所用。
研磨減薄機(jī)當(dāng)主軸轉(zhuǎn)速小于200RPM時(shí),由于塑性功較低,產(chǎn)生熱量少,加上研磨液的及時(shí)冷卻,工件表面溫度較低,因此這時(shí)機(jī)械變形起主要作用,使加工硬化程度提高。在研磨過(guò)程中,用氧化鉻作磨料的研磨劑涂在研具的工作表面,由于磨料比研具和工件軟,因此研磨過(guò)程中磨料懸浮于工件與研具之間,主要利用研磨劑與工件表面的化學(xué)作用沒(méi)有按著工件被研表面的大小和高度比例來(lái)確定運(yùn)動(dòng)的速度和方向,或者沒(méi)有放在工件的中間位置而導(dǎo)致工件強(qiáng)制受力或著力不均等。在研磨中,由于研磨平板中間的磨損比邊緣大,則很容易使研磨平板表面形成凹形。研磨減薄機(jī)的磨削過(guò)程因其能產(chǎn)生高質(zhì)量和高精度表面而在工業(yè)上得到普遍使用。
減薄機(jī)研磨墊圖形大體的功能先是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過(guò)程輸送到不同的一些區(qū)域。還有另外的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去。研磨墊的機(jī)械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,所以控制結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是非常重要的。我們通過(guò)減薄研磨的方式對(duì)晶片襯底進(jìn)行減薄,從而改善芯片散熱效果,但是由于減薄后的襯底背后還存在表面損害層,殘余應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致減薄后的外延片彎曲且容易在后續(xù)工序中碎裂,從而影響成品率。因此在減薄后應(yīng)對(duì)襯底背光進(jìn)行拋光。減薄到一定的厚度有利于后期封裝工藝。然后通過(guò)機(jī)械加工和化學(xué)反應(yīng)的方法對(duì)樣品進(jìn)行一系列減薄研磨拋光的工藝,樣品表面到達(dá)所需要的厚度,平整度,粗糙度。那個(gè)在工藝上出現(xiàn)的一些問(wèn)題需要怎么去解決呢,上蠟后平整度大于正負(fù)5um,我們要調(diào)整蠟層厚度及上蠟的壓力。減薄后厚度均勻性需要對(duì)砂輪進(jìn)行修平,校正砂輪環(huán)中心固定螺母及球軸承主軸。當(dāng)減薄后片子出現(xiàn)裂痕我們需要對(duì)砂輪進(jìn)行修銳并檢查減薄步進(jìn)速率,當(dāng)研磨拋光后厚度均勻性較差時(shí),我們要用平面度測(cè)量規(guī)測(cè)量盤(pán)面,用小塊的砝碼重力修正,如果研磨或者拋光的過(guò)程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤(pán)/環(huán);檢查磨料/拋光液。研磨減薄機(jī)采用無(wú)級(jí)調(diào)速系統(tǒng)控制,可輕易調(diào)整出適合研磨各種部件的研磨速度。浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司
超精密研磨減薄機(jī)可以分為四個(gè)基礎(chǔ)組成成分研磨盤(pán)研磨液磨粒和工件。浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司
橫向減薄機(jī)設(shè)備原理:1.本系列橫向減薄減薄機(jī)為全自動(dòng)精密磨削設(shè)備,由真空吸盤(pán)或者電磁吸盤(pán)吸附工件與磨輪作相反方向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),磨輪前后擺動(dòng)。該方法磨削阻力小、工件不會(huì)破損,而且磨削均勻生產(chǎn)效率高。2.設(shè)備可自動(dòng)對(duì)刀、實(shí)際檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過(guò)程中因壓力過(guò)大產(chǎn)生變形及破損,自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸。高精密橫向減薄機(jī)的性能與參數(shù):1、可使加工工件減簿至0.02mm而不會(huì)破碎,而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。2、減簿效率高LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減簿50um硅片每分鐘可減簿250um。3、橫向減簿機(jī)系列都采用CNC程控系統(tǒng),PLC控制面版。研磨減薄機(jī)主要特點(diǎn):機(jī)床造型及內(nèi)部結(jié)構(gòu)充分考慮了操作和維修的方便性。浙江外圓化學(xué)減薄機(jī)公司
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