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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:廣州PECVD管式爐,爐
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PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和,廣州PECVD管式爐、缺陷失去活性,廣州PECVD管式爐,達到表面鈍化和體鈍化的目的。 箱式爐工作時入箱式爐的工件應(yīng)不超過爐底板,廣州PECVD管式爐.大載荷量,裝卸工件時應(yīng)確保電源斷開的情況下進行。廣州PECVD管式爐
深圳市迪斯普設(shè)備有限公司告訴您儀表的內(nèi)部參數(shù)不要亂改,以防電爐不能正常運行。爐門輕關(guān)輕拉。1、爐子初次使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。2、禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。3、爐體若采用硅鉬棒做加熱元件,依據(jù)硅鉬棒的物理特性,常溫下脆性很大,因此在加熱元件安裝好后不能隨意拆裝和搬動爐體。4、冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。5、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。6、硅鉬棒作為加熱元件時不宜在400-700℃溫度段長時間運行,否則硅鉬棒將發(fā)生低溫氧化。 廣州PECVD管式爐立式爐是真空爐的一種,是在在真空環(huán)境中加熱的一種設(shè)備。
CVD管式爐使用注意事項:1.冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。4.爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學(xué)氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠(yuǎn)小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達到表面鈍化和體鈍化的目的。 CVD管式爐使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時。
多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng):一、爐子使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。二、爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃),嚴(yán)禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應(yīng)力的均勻釋放,以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是石英管的一個固有缺陷,屬正常現(xiàn)象。三、管式爐在氣氛條件下使用,氣體在高溫下會膨脹,導(dǎo)致管內(nèi)壓力變大,使用者應(yīng)及時開啟針閥,排出氣體。 立式爐升溫快、高節(jié)能、高精度、高穩(wěn)定性、保溫性能好。廣州PECVD管式爐
CVD管式爐要定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好。廣州PECVD管式爐
隨著社會的發(fā)展,創(chuàng)新、協(xié)調(diào)、綠色、開放、共享的五大發(fā)展理念對機械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)提出了更高的要求,研發(fā)技術(shù)含量高、附加價值高、智能化程度高而碳排放量少的新型設(shè)備。機械企業(yè)常常利用虛擬制造技術(shù)來提升反應(yīng)能力,而虛擬制造技術(shù)也是機械制造領(lǐng)域中**重點的技術(shù)。對現(xiàn)代化有限責(zé)任公司企業(yè)來說,具備敏捷的反應(yīng)能力是未來努力的方向。加快推進人工智能技術(shù)、機器人技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)在機械工業(yè)全過程中的應(yīng)用,促進生產(chǎn)過程的數(shù)字化操控、模仿優(yōu)化、狀態(tài)實時監(jiān)測和自適應(yīng)操控,從而提高產(chǎn)品的智能化水平,使鋰電池鈕扣設(shè)備,鋰電池18650圓柱設(shè)備,鋰電池聚合物軟包設(shè)備,馬氟爐,管式爐,球磨機工業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈水平由中低端向中**邁進。生產(chǎn)型企業(yè)圍繞生產(chǎn)源頭、制造過程和產(chǎn)品性能三個方面加強科技研發(fā),應(yīng)用制造工藝,實現(xiàn)綠色制造。推廣節(jié)能低碳技術(shù),采用制造工藝,發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟,形成低加入、低消耗、低排放的業(yè)態(tài)模式,實現(xiàn)低碳制造。廣州PECVD管式爐
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3193240.html
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