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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家,爐
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詳細說明
立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家,讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家,污染爐膛。 CVD管式爐冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱。廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家
多溫區(qū)管式爐的保養(yǎng):一、爐子使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。二、爐膛若采用剛玉爐管,依據(jù)剛玉材料的物理性質(zhì),各溫區(qū)的升﹑降溫速率不宜過快(≤5℃),嚴禁在爐管100℃以上取送物料。有利于爐管的熱應(yīng)力的均勻釋放,以延長爐管的使用壽命。爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是石英管的一個固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。三、管式爐在氣氛條件下使用,氣體在高溫下會膨脹,導致管內(nèi)壓力變大,使用者應(yīng)及時開啟針閥,排出氣體。 北京管式爐廠家**箱式氣氛爐可選擇進口單設(shè)定點或40段可編程控制器。
PECVD管式爐的具體工藝流程?硅烷與氨氣反應(yīng)生成SiN淀積在硅片表面形成減反射膜。利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體對化學氣相沉積過程施加影響的技術(shù)。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進反應(yīng)活性基團的生成,從而降低沉積溫度。PECVD在200℃~500℃范圍內(nèi)成膜,遠小于其它CVD在700℃~950℃范圍內(nèi)成膜。反應(yīng)過程中有大量的氫離子注入到硅片中,使硅片中懸掛鍵飽和、缺陷失去活性,達到表面鈍化和體鈍化的目的。
立式管式爐的詳細使用方法以及在使用的時候需要注意哪些?1、操作人員在使用立式管式爐之前,要具有相應(yīng)的電氣設(shè)備操作資格,并且還要熟悉立式管式爐隨機的儀表說明書。用戶開關(guān)板是給電爐送電的,這個之后程序表就有了電,然后根據(jù)溫度儀表說明書來設(shè)定儀表,根據(jù)工藝的要求來編制加熱程序,打開加熱旋鈕,讓加熱功率達到6千瓦。2、程序設(shè)定的溫度不能高于電爐的參數(shù)溫度;立式管式爐在工作的時候,不能打開爐門,在取出產(chǎn)品的時候,要等到爐溫下降到100攝氏度以下才可以;立式管式爐在升溫加熱的時候,其加熱功率不能超過6千瓦,否則的話會損壞加熱元件。3、立式管式爐使用或長時間不用時,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂,爐溫不得超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯,禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐膛。 箱式氣氛爐爐門采用循環(huán)式水冷。設(shè)有進出水接頭。
CVD管式爐使用注意事項:1.冷爐使用時,由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。2.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。4.爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。 馬弗爐溫度超過600度后不要打開爐門。等爐膛內(nèi)溫度自然冷卻后再打開爐門。深圳CVD管式爐操作規(guī)程
箱式爐為保證爐溫,不能隨便打開箱式爐爐門,檢查爐內(nèi)情況應(yīng)從爐門孔中觀察。廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家
多溫區(qū)管式爐簡介多溫區(qū)管式爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和40段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,雙(多)溫區(qū)管式爐爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙(多)溫區(qū)管式爐雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫,采用99高純剛玉管、兩端用不銹鋼法蘭密封,用浮子流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。廣東PECVD管式爐生產(chǎn)廠家
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3193702.html
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