高效空氣過濾器一般作為過濾末端，因此對(duì)高效過濾器的各項(xiàng)要求也相當(dāng)為嚴(yán)格，出廠需逐臺(tái)檢測(cè)。高效過濾器作為末端是各級(jí)過濾器中相當(dāng)關(guān)鍵的一級(jí)，需要額外的“觀照”。要延長高效過濾器的使用壽命，相當(dāng)根本的辦法是將灰塵擋在預(yù)過濾器。更換預(yù)過濾一般無須停產(chǎn)、無須調(diào)試，所以有經(jīng)驗(yàn)的業(yè)主會(huì)把注意力和金錢放在預(yù)過濾器上。對(duì)于10000級(jí)和100000級(jí)潔凈廠房，天津普通鋼過濾器供應(yīng)商。預(yù)過濾可選用F8過濾器，這樣末端高效過濾器的使用壽命一般可達(dá)五年。在國外項(xiàng)目中和國內(nèi)新項(xiàng)目中，F(xiàn)8過濾器是非均勻流潔凈室相當(dāng)常見的預(yù)過濾器。對(duì)于芯片廠100級(jí)，10級(jí)或更高 級(jí)別的潔凈廠房，天津普通鋼過濾器供應(yīng)商，預(yù)過濾器的常見效率級(jí)別為H10，天津普通鋼過濾器供應(yīng)商，許多新項(xiàng)目索性選用HEPA。在國內(nèi)過去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，過濾器常見配置為：粗效中效高 效。那時(shí)高效過濾器的使用壽命*為1--3年，相當(dāng)差的也就幾個(gè)月。可見，預(yù)過濾器的效率高低決定末端過濾器使用的壽命。

    ロータ周速が高くなるにつれて、処理速度が早くなる傾向となり、30nmまで微細(xì)化できた処理時(shí)間は9m/sで70min.、6m/sで250min.、3m/sで450min.でした。ただし、9m/sの場(chǎng)合は、70min.以降は粒子徑が増加し、**終的に70nmとなりました。これは、分散する力が強(qiáng)すぎたために粒子を壊してしまい、その破片により再凝集が起こったと考えられ、3m/sと6m/sで処理したものは再凝集が発生していないので、粒子が壊されていないと考えられます。図15周速の差による平均徑の経時(shí)変化図16酸化チタンの結(jié)晶評(píng)価（TEM寫真）図16のTEM寫真より、3m/sと6m/sで処理したサンプルは分散できており、粒子も破壊されていません。一方、9m/sの処理では、粒子が破壊され、その破片により再凝集しています。図15の平均徑の経時(shí)変化と図16のTEM寫真から、周速6m/s以下で分散処理することが重要であることがわかります。図17酸化チタンスラリーの透過率評(píng)価図17では、スラリーの透過率の評(píng)価と酸化チタンの分散狀態(tài)の関連を調(diào)査しました。3m/sと6m/sの処理では、透過率は60%に到達(dá)しましたが、9m/sの処理では、透過率は43%が比較大であり、それ以降の透過率は低下しています。

    ビーズミル內(nèi)ではビーズが高速で攪拌されており、スラリーをビーズミル內(nèi)に通過させ、目標(biāo)とする粒子徑まで微細(xì)化した後にスラリーを回収します。図12當(dāng)社ビーズミルの運(yùn)転時(shí)における周辺機(jī)器を含めた裝置構(gòu)成1)微小ビーズを用いた微細(xì)化実施例（酸化チタン）UAMを使用し酸化チタンを15μm、30μm、50μmの3種類のビーズを用いて微細(xì)化処理を行いました。粒子徑分布測(cè)定評(píng)価において、平均徑は減少傾向となり、15μmと30μmビーズを用いた処理では約30nmまで微細(xì)化され、50μmビーズの処理では約20nmまでの微細(xì)化が認(rèn)められました。粒子形狀評(píng)価において、15μmと30μmビーズを用いた処理では、粒子破壊がほとんど確認(rèn)されないのに対して、50μmビーズの処理においては、粒子破壊が認(rèn)められます。これらの評(píng)価から、30μm以下の微小ビーズを用いて衝撃力を***することが、粒子破壊を嫌うナノ粒子の分散処理に効果的であることがわかります。図13ビーズサイズ差による平均徑の経時(shí)変化図14ビーズサイズ差によるTEM寫真DAMを用いた微細(xì)化実施例50μmのビーズを用いて、ロータ周速を3、6、9m/sに設(shè)定しUVカットに用いられる酸化チタンの分散実験を行いました。

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