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微納加工技術(shù)是先進制造的重要組成部分，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進步，湖...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-24 02:16:59

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

在氧化物中開窗口的過程，可能導(dǎo)致氧化物—硅界面層附近的Si0處發(fā)生鉆蝕。在極端情況下，可以導(dǎo)致氧化物層的脫落。在淺擴散高速晶體管的制造中有時會遇到這一問題。薄膜...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-24 02:16:59

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

高精度的微細結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作，這類光刻技術(shù)，像“寫字”一樣，通過控制聚焦電子束（光束）移動書寫圖案進行曝光，具有比較高的曝光精度，但這兩種方...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-24 02:16:59

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中，使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率，天津叉指電極真空鍍膜加工平臺，可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率，特別是有利于高...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-24 00:28:54

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

氮化硅的干法刻蝕S13N4在半導(dǎo)體工藝中主要用在兩個地方。1、用做器件區(qū)的防止氧化保護層（厚約lOOnm）。2、作為器件的鈍化保護層。在這兩個地方刻蝕的圖形尺寸...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-24 00:28:54

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

    如圖4a進一步示出的，金屬目標408沿z方向定位，以在金屬目標408與位置定位系統(tǒng)410之間提供氣隙(ag)。在...

[電子磁性材料(電磁鐵)]2021-01-23 10:06:38

無錫東英電子有限公司 [ 已審核 ]

眾所周知，微納米技術(shù)是我國貫徹落實“中國制造2025”和“中國創(chuàng)新2030”的重要舉措與中心技術(shù)需求，是促進制造業(yè)高級化、綠色化、智能化的重要基礎(chǔ)?；谖矬w微米...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-23 09:22:38

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

相比刻蝕用單晶硅材料，芯片用單晶硅材料是芯片等終端產(chǎn)品的原材料，市場更為廣闊，國產(chǎn)替代的需求也十分旺盛。SEMI的統(tǒng)計顯示，2018年全球半導(dǎo)體制造材料市場規(guī)模...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-23 09:22:38

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無圖形刻蝕。有圖形刻蝕采用掩蔽層（有圖形的光刻膠）來定義要刻蝕掉的表面材料區(qū)域，只有硅片上被選擇的這一部分在刻蝕過程中刻掉。有圖形刻蝕...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-23 08:21:16

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

二氧化硅濕法刻蝕：較普通的刻蝕層是熱氧化形成的二氧化硅?；镜目涛g劑是氫氟酸，它有刻蝕二氧化硅而不傷及硅的優(yōu)點。然而，飽和濃度的氫氟酸在室溫下的刻蝕速率約為30...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-23 08:21:16

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]

電子陶瓷：是電子工業(yè)、航天，濟南絕緣陶瓷片報價、航空和核工業(yè)的基礎(chǔ)之一，濟南絕緣陶瓷片報價，在高技術(shù)領(lǐng)域也異常活躍 例如：某火 箭，其中采用陶瓷材料制造的零部件...

[電子陶瓷材料]2021-01-23 08:16:08

宜興市威特陶瓷有限公司 [ 已審核 ]

微納加工工藝基本分為表面加工體加工兩大塊，基本流程如下：表面加工基本流程如下：首先：沉積系繩層材料；第二步：光刻定義系繩層圖形；第三步：刻蝕完成系繩層圖形轉(zhuǎn)移；...

[半導(dǎo)體材料]2021-01-23 07:19:24

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 [ 已審核 ]