深圳GaN材料刻蝕加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)-b2b網(wǎng)站_b2b電子商務(wù)平臺(tái)【買產(chǎn)品】-上?？谄蚴称酚邢薰?/title><meta name="description" content="選擇比指的是在同一刻蝕條件下一種材料與另一種材料相比刻蝕速率快多少，它定義為被刻蝕材料的刻蝕速率與另一種材料的刻蝕速率的比。基本內(nèi)容：高選擇比意味著只刻除想要刻去的那一層材料。一個(gè)高選擇比的刻蝕工藝不刻蝕下面一層材料（刻蝕到恰當(dāng)?shù)纳疃葧r(shí)停止"><meta name="keywords" content="深圳GaN材料刻蝕加工,材料刻蝕"><link rel="canonical" href="http://www.cdcfah.com/"/><meta name="applicable-device" content="pc"><link rel="shortcut icon" href="/static/new_net_01/images/favicon.ico"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/slick.css" /><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/addnew.css"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/sidenav.css"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/style.css" /><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/tab.css"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/404.css"> <meta name="baidu-site-verification" content="OBVzrC9aaQ" /> <meta http-equiv="Cache-Control" content="no-transform" 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name="keywords" placeholder="請(qǐng)輸入搜索關(guān)鍵詞" id="kd"><a href="javascript:void(0)" class="searchBtn" id="search">搜索</a></div></div></div></div></header><nav class="navbox"><div id="fbjhnr9" class="container"><ul><li id = "index_index"><a href="http://www.cdcfah.com/"><span>首頁(yè)</span></a></li><li id = "index_company"><a ><span>企業(yè)名錄</span></a></li><li id = "index_product"><a href="http://www.cdcfah.com/cp/"><span>產(chǎn)品供應(yīng)</span></a></li><li id = "index_news"><a href="http://www.cdcfah.com/zx/"><span>新聞資訊</span></a></li><li id = "index_article"><a href="http://www.cdcfah.com/xw/"><span>行業(yè)資訊</span></a></li><li id = "index_show"><a href="http://www.cdcfah.com/zh/"><span>展會(huì)信息</span></a></li></ul></div></nav><section class="wrap clearfix"><section class="container clearfix tcPro"><section class="home-main container clearfix"><div id="vpfdjxd" class="twoCol"><div id="fjzhpn9" class="page-proshow clearfix"><p class="current"> 當(dāng)前位置:<a href="http://www.cdcfah.com/">首頁(yè)?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/">產(chǎn)品供應(yīng)</a>?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/first-_dzyqj/">電子元器件</a>?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/second-dzyqj_dzcllbjjgj/">電子材料、零部件、結(jié)構(gòu)件</a>?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/third-dzcllbjjgj_bdtcl/">半導(dǎo)體材料</a>?深圳GaN材料刻蝕加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p><div id="vfdtrpn" class="leftbox clearfix"><h1>深圳GaN材料刻蝕加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</h1><div id="9jntz7t" class="proBig"><div id="hvtzflz" class="bigimg"><div><p class="pic"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343031752492/2519204.png" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></p></div></div><div id="ptbhnlr" class="smallimg"><div><p class="pic"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343031752492/2519204.png" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></p></div></div></div><div id="thxvtpf" class="content"><p><span>需求數(shù)量：</span>0</p><p><span>價(jià)格要求：</span>面議</p><p><span>所在地：</span>廣東省</p><p><span>包裝要求：</span><span style="color: #f30;"></span></p><p><span>產(chǎn)品關(guān)鍵詞：</span>深圳GaN材料刻蝕加工,材料刻蝕</p><p><span>***更新：</span>2021-01-05 01:16:40</p><p><span id="click" >瀏覽次數(shù)：1次</span></p><a rel="nofollow" class="button">聯(lián)系我們</a></div></div><div id="7rpxdtz" class="rightbox"><h3>公司基本資料信息</h3><p style="border:0;"><a rel="nofollow">廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所</a></p><p><span>聯(lián)系人：</span>曾昭燴</p><p><span>郵箱: </span>512480780@qq.com</p><p><span>電話: </span>15018420573</p><p><span>傳真: </span>020_</p><p><span>網(wǎng)址: </span>http://www.gdssli.com</p><p><span>手機(jī): </span>020-61086422</p><p><span>地址: </span>長(zhǎng)興路363號(hào)</p><p>[當(dāng)前離線] <a rel="nofollow"> [加為商友] </a><a rel="nofollow"> [發(fā)送信件] </a></p></div></div><div id="jxn7f7n" class="page-proshow02"><p class="title">詳細(xì)說(shuō)明</p><div id="b7zdrzn" class="box"><p><p style="text-indent:25px">選擇比指的是在同一刻蝕條件下一種材料與另一種材料相比刻蝕速率快多少，它定義為被刻蝕材料的刻蝕速率與另一種材料的刻蝕速率的比。基本內(nèi)容：高選擇比意味著只刻除想要刻去的那一層材料。一個(gè)高選擇比的刻蝕工藝不刻蝕下面一層材料（刻蝕到恰當(dāng)?shù)纳疃葧r(shí)停止）并且保護(hù)的光刻膠也未被刻蝕。圖形幾何尺寸的縮小要求減薄光刻膠厚度。高選擇比在較先進(jìn)的工藝中為了確保關(guān)鍵尺寸和剖面控制是必需的。特別是關(guān)鍵尺寸越小，深圳GaN材料刻蝕加工，深圳GaN材料刻蝕加工，選擇比要求越高，深圳GaN材料刻蝕加工。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。二氧化硅的刻蝕，可以采用濕法腐蝕的方法來(lái)腐蝕，也可以采用ICP干法來(lái)刻蝕。深圳GaN材料刻蝕加工</p><div style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="深圳GaN材料刻蝕加工,材料刻蝕" src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343031752492/2519204.png"></div><p style="text-indent:25px">反應(yīng)離子刻蝕（RIE）是當(dāng)前常用技術(shù)路徑，屬于物理和化學(xué)混合刻蝕。在傳統(tǒng)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)中，進(jìn)入反應(yīng)室的氣體會(huì)被分解電離為等離子體，等離子體由反應(yīng)正離子、自由基、反應(yīng)原子等組成。反應(yīng)正離子會(huì)轟擊硅片表面形成物理刻蝕，同時(shí)被轟擊的硅片表面化學(xué)活性被提高，之后硅片會(huì)與自由基和反應(yīng)原子形成化學(xué)刻蝕。這個(gè)過(guò)程中由于離子轟擊帶有方向性，RIE技術(shù)具有較好的各向異性。目前先進(jìn)集成電路制造技術(shù)中用于刻蝕關(guān)鍵層的刻蝕方法是高密度等離子體刻蝕技術(shù)。傳統(tǒng)的RIE系統(tǒng)難以使刻蝕物質(zhì)進(jìn)入高深寬比圖形中并將殘余生成物從中排出，因此不能滿足0.25μm以下尺寸的加工要求，解決辦法是增加等離子體的密度。高密度等離子體刻蝕技術(shù)主要分為電子回旋加速振蕩（ECR）、電容或電感耦合等離子體（CCP/ICP）、雙等離子體源等。吉林氮化鎵材料刻蝕外協(xié)溫度越高刻蝕效率越高，但是溫度過(guò)高工藝方面波動(dòng)較大，只要通過(guò)設(shè)備自帶溫控器和點(diǎn)檢確認(rèn)。</p><div style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="深圳GaN材料刻蝕加工,材料刻蝕" src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343104448148/1231748.png"></div><p style="text-indent:25px">刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無(wú)圖形刻蝕。有圖形刻蝕采用掩蔽層（有圖形的光刻膠）來(lái)定義要刻蝕掉的表面材料區(qū)域，只有硅片上被選擇的這一部分在刻蝕過(guò)程中刻掉。有圖形刻蝕可用來(lái)在硅片上制作多種不同的特征圖形，包括柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無(wú)圖形刻蝕、反刻或剝離是在整個(gè)硅片沒(méi)有掩模的情況下進(jìn)行的，這種刻蝕工藝用于剝離掩模層。反刻是在想要把某一層膜的總的厚度減小時(shí)采用的（如當(dāng)平坦化硅片表面時(shí)需要減小形貌特征）。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。</p><p style="text-indent:25px">雙等離子體源刻蝕機(jī)加裝有兩個(gè)射頻（RF）功率源，能夠更精確地控制離子密度與離子能量。位于上部的射頻功率源通過(guò)電感線圈將能量傳遞給等離子體從而增加離子密度，但是離子濃度增加的同時(shí)離子能量也隨之增加。下部加裝的偏置射頻電源通過(guò)電容結(jié)構(gòu)能夠降低轟擊在硅表面離子的能量而不影響離子濃度，從而能夠更好地控制刻蝕速率與選擇比。原子層刻蝕（ALE）為下一代刻蝕工藝技術(shù)，能夠精確去除材料而不影響其他部分。隨著結(jié)構(gòu)尺寸的不斷縮小，反應(yīng)離子刻蝕面臨刻蝕速率差異與下層材料損傷等問(wèn)題。原子層刻蝕（ALE）能夠精密控制被去除材料量而不影響其他部分，可以用于定向刻蝕或生成光滑表面，是刻蝕技術(shù)研究的熱點(diǎn)之一。目前原子層刻蝕在芯片制造領(lǐng)域并沒(méi)有取代傳統(tǒng)的等離子刻蝕工藝，而是被用于原子級(jí)目標(biāo)材料精密去除過(guò)程?？涛g技術(shù)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件，集成電路制造，薄膜電路，印刷電路和其他微細(xì)圖形的加工等。</p><div style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="深圳GaN材料刻蝕加工,材料刻蝕" src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343022162510/3890106.png"></div><p style="text-indent:25px">等離子刻蝕是干法刻蝕中較常見(jiàn)的一種形式。一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中，在外部能量作用下（如射頻、微波等）形成等離子體。其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。一個(gè)等離子體干法刻蝕系統(tǒng)基本部件包括：發(fā)生刻蝕反應(yīng)的反應(yīng)腔、產(chǎn)生等離子體氣的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除生成物的真空系統(tǒng)。刻蝕中會(huì)用到大量的化學(xué)氣體，通常用氟刻蝕二氧化硅，氯和氟刻蝕鋁，氯、氟和溴刻蝕硅，氧去除光刻膠。干法刻蝕種類比較多，包括光揮發(fā)、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。吉林氮化鎵材料刻蝕外協(xié)</p><p style="text-indent:25px">氮化鎵材料的刻蝕需要使用氧化硅作為掩膜來(lái)刻蝕，而氧化硅的刻蝕需要使用Cr充當(dāng)硬掩模。深圳GaN材料刻蝕加工</p><p style="text-indent:25px">刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無(wú)圖形刻蝕。有圖形刻蝕采用掩蔽層（有圖形的光刻膠）來(lái)定義要刻蝕掉的表面材料區(qū)域，只有硅片上被選擇的這一部分在刻蝕過(guò)程中刻掉。有圖形刻蝕可用來(lái)在硅片上制作多種不同的特征圖形，包括柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無(wú)圖形刻蝕、反刻或剝離是在整個(gè)硅片沒(méi)有掩模的情況下進(jìn)行的，這種刻蝕工藝用于剝離掩模層（如STI氮化硅剝離和用于制備晶體管注入側(cè)墻的硅化物工藝后鈦的剝離）。反刻是在想要把某一層膜的總的厚度減小時(shí)采用的（如當(dāng)平坦化硅片表面時(shí)需要減小形貌特征）。深圳GaN材料刻蝕加工</p><p style="text-indent:25px">廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所位于長(zhǎng)興路363號(hào)，是一家專業(yè)的面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性、開(kāi)放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國(guó)內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開(kāi)放共享，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供支持。公司。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù)，以誠(chéng)信、敬業(yè)、進(jìn)取為宗旨，以建芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工產(chǎn)品為目標(biāo)，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值，希望通過(guò)我們的專業(yè)水平和不懈努力，將面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性、開(kāi)放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國(guó)內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開(kāi)放共享，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供支持。等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)，堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴。</p></p><br /><p>文章來(lái)源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2704815.html</p></div></div></div></div></div><div id="zndrzx9" class="page-right twoColRt"><div id="dzrh7b7" class="box01 margin10 clearfix"><h3><a href="http://www.cdcfah.com/cp/">猜你喜歡</a></h3><div id="77pvljh" class="recomPic likePro"><a href="http://www.cdcfah.com/cp/814588.html"><div><img src="http://tyunfile.71360.com/UpLoadFile/2019/11/1/14/637082168864691056_lgpj_5374157.jpg" alt="福建ZF配件哪家強(qiáng) 信息推薦自業(yè)物資供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>福建ZF配件哪家強(qiáng) 信息推薦自業(yè)物資供應(yīng)</p></a></div><div id="jntrfv7" class="recomPic likePro"><a href="http://www.cdcfah.com/cp/846569.html"><div><img src="https://tyunfile.71360.com/WaterMark/UploadFile/nbzxsw/637298235378037109/764794.png" alt="寧波寧海直接考A2有幾個(gè)科目真誠(chéng)推薦寧波助學(xué)商務(wù)信息咨詢供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>寧波寧海直接考A2有幾個(gè)科目真誠(chéng)推薦寧波助學(xué)商務(wù)信息咨詢供應(yīng)</p></a></div><div id="frfx79n" class="recomPic likePro"><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2083415.html"><div><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/WZAJZNKJ/637332852248037109/2461316.png" alt="200l桶自動(dòng)灌裝機(jī)生產(chǎn)廠歡迎來(lái)電溫州奧基智能科技供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>200l桶自動(dòng)灌裝機(jī)生產(chǎn)廠歡迎來(lái)電溫州奧基智能科技供應(yīng)</p></a></div><div id="nd99rh7" class="recomPic likePro"><a href="http://www.cdcfah.com/cp/1387.html"><div><img src="http://tyunfile.71360.com/UpLoadFile/2019/8/3/11/637004297269091023_cyjqc_1306937.jpg" alt="烏魯木齊市會(huì)務(wù)租車網(wǎng) 車永捷供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>烏魯木齊市會(huì)務(wù)租車網(wǎng) 車永捷供應(yīng)</p></a></div><div id="7h9lrpd" class="clear"></div></div><div id="lrpl9xl" class="box01 box03"><h3><a href="http://www.cdcfah.com/xw/">***產(chǎn)品資訊</a></h3><ul></ul></div></div></section><div id="7zxfvjh" class="page-proshow02"><p class="title">本企業(yè)其它產(chǎn)品 <span style="float:right;"><a >更多>></a></span></p><div id="d7dtjh9" class="box box-add clearfix"><ul class="box-list"><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168384.html"><div id="7xn77tj" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420927862704157/9135298.png" alt="珠海感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>珠海感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168385.html"><div id="rhpfrx9" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928331288159/8185029.png" alt="遼寧氧化硅材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>遼寧氧化硅材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168386.html"><div id="znvdrhv" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928248583041/7150485.png" alt="云南EB真空鍍膜廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>云南EB真空鍍膜廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168387.html"><div id="7tr7jhn" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928292411100/5112390.png" alt="吉林真空鍍膜代工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>吉林真空鍍膜代工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168388.html"><div id="p7dljpn" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928308485383/3307271.png" alt="重慶MEMS光刻廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>重慶MEMS光刻廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168392.html"><div id="fvdjrn7" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928341961931/1525583.png" alt="磁控濺射真空鍍膜廠商廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>磁控濺射真空鍍膜廠商廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168393.html"><div id="t77bpxv" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928275370133/4122869.png" alt="山東光刻服務(wù)價(jià)格廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" 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src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346443485231/3119253.png" alt="深圳光電器件真空鍍膜加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>深圳光電器件真空鍍膜加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/3200205.html"><div id="hfdb9n7" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430344829996414/6829806.png" alt="黑龍江真空鍍膜微納加工廠廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>黑龍江真空鍍膜微納加工廠廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2370318.html"><div id="zxdthf7" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343060072941/2374410.png" alt="河南MEMS材料刻蝕加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" 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