珠海共濺射真空鍍膜技術(shù) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)-b2b網(wǎng)站_b2b電子商務(wù)平臺【買產(chǎn)品】-上?？谄蚴称酚邢薰?/title><meta name="description" content="影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例，反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進(jìn)行過程中靶表面濺射區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長的過程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋"><meta name="keywords" content="珠海共濺射真空鍍膜技術(shù),真空鍍膜"><link rel="canonical" href="http://www.cdcfah.com/"/><meta name="applicable-device" content="pc"><link rel="shortcut icon" href="/static/new_net_01/images/favicon.ico"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/slick.css" /><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/addnew.css"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/sidenav.css"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/style.css" /><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/tab.css"><link rel="stylesheet" href="/static/new_net_01/css/404.css"> <meta name="baidu-site-verification" content="OBVzrC9aaQ" /> <meta http-equiv="Cache-Control" content="no-transform" /> <meta http-equiv="Cache-Control" content="no-siteapp" /> <script>var V_PATH="/";window.onerror=function(){ return true; };</script> </head><body> <h1><a href="http://www.cdcfah.com/">六月丁香婷婷亚洲中文字幕,欧美精品高清一区二区蜜芽,尤物92午夜福利视频,精品视频一区二区三区在线观看</a></h1> <div style="position:fixed;left:-9000px;top:-9000px;"><object id="qgqbi"></object><delect id="qgqbi"><sub id="qgqbi"><dl id="qgqbi"></dl></sub></delect><track id="qgqbi"></track><tr id="qgqbi"></tr><video id="qgqbi"></video><xmp id="qgqbi"><span id="qgqbi"></span></xmp><span id="qgqbi"></span><strong id="qgqbi"><em id="qgqbi"><sup id="qgqbi"><progress id="qgqbi"></progress></sup></em></strong><dl id="qgqbi"><small id="qgqbi"></small></dl><wbr id="qgqbi"></wbr><noscript id="qgqbi"></noscript><tr id="qgqbi"></tr><track id="qgqbi"><dl id="qgqbi"></dl></track><label id="qgqbi"><em id="qgqbi"></em></label><tbody id="qgqbi"></tbody><blockquote id="qgqbi"></blockquote><dfn id="qgqbi"><center 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class="">公司</a><a href="JavaScript:;" data-type="article" class="">資訊</a><a href="JavaScript:;" data-type="exhibition" class="">展會</a></div><div id="kv3jcov" class="clearfix searchWrap"><div id="xfwkgxt" class="searchInput"><input type="text" name="keywords" placeholder="請輸入搜索關(guān)鍵詞" id="kd"><a href="javascript:void(0)" class="searchBtn" id="search">搜索</a></div></div></div></div></header><nav class="navbox"><div id="gzvrd3u" class="container"><ul><li id = "index_index"><a href="http://www.cdcfah.com/"><span>首頁</span></a></li><li id = "index_company"><a ><span>企業(yè)名錄</span></a></li><li id = "index_product"><a href="http://www.cdcfah.com/cp/"><span>產(chǎn)品供應(yīng)</span></a></li><li id = "index_news"><a href="http://www.cdcfah.com/zx/"><span>新聞資訊</span></a></li><li id = "index_article"><a href="http://www.cdcfah.com/xw/"><span>行業(yè)資訊</span></a></li><li id = "index_show"><a href="http://www.cdcfah.com/zh/"><span>展會信息</span></a></li></ul></div></nav><section class="wrap clearfix"><section class="container clearfix tcPro"><section class="home-main container clearfix"><div id="ybrnjhs" class="twoCol"><div id="vypawxo" class="page-proshow clearfix"><p class="current"> 當(dāng)前位置:<a href="http://www.cdcfah.com/">首頁?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/">產(chǎn)品供應(yīng)</a>?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/first-_dzyqj/">電子元器件</a>?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/second-dzyqj_dzcllbjjgj/">電子材料、零部件、結(jié)構(gòu)件</a>?<a href="http://www.cdcfah.com/cp/third-dzcllbjjgj_bdtcl/">半導(dǎo)體材料</a>?珠海共濺射真空鍍膜技術(shù) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p><div id="dhtamxd" class="leftbox clearfix"><h1>珠海共濺射真空鍍膜技術(shù) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</h1><div id="327aw3t" class="proBig"><div id="0vwnp8z" class="bigimg"><div><p class="pic"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346443485231/3119253.png" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></p></div></div><div id="luwyeac" class="smallimg"><div><p class="pic"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346443485231/3119253.png" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></p></div></div></div><div id="trnokb3" class="content"><p><span>需求數(shù)量：</span>0</p><p><span>價(jià)格要求：</span>面議</p><p><span>所在地：</span>廣東省</p><p><span>包裝要求：</span><span style="color: #f30;"></span></p><p><span>產(chǎn)品關(guān)鍵詞：</span>珠海共濺射真空鍍膜技術(shù),真空鍍膜</p><p><span>***更新：</span>2021-01-18 00:28:24</p><p><span id="click" >瀏覽次數(shù)：0次</span></p><a rel="nofollow" class="button">聯(lián)系我們</a></div></div><div id="npg37af" class="rightbox"><h3>公司基本資料信息</h3><p style="border:0;"><a rel="nofollow">廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所</a></p><p><span>聯(lián)系人：</span>曾昭燴</p><p><span>郵箱: </span>512480780@qq.com</p><p><span>電話: </span>15018420573</p><p><span>傳真: </span>020_</p><p><span>網(wǎng)址: </span>http://www.gdssli.com</p><p><span>手機(jī): </span>020-61086422</p><p><span>地址: </span>長興路363號</p><p>[當(dāng)前離線] <a rel="nofollow"> [加為商友] </a><a rel="nofollow"> [發(fā)送信件] </a></p></div></div><div id="erd3987" class="page-proshow02"><p class="title">詳細(xì)說明</p><div id="ylc3zqc" class="box"><p><p style="text-indent:25px">影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例，反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進(jìn)行過程中靶表面濺射區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長的過程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下，參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加，化合物生成率增加。如果反應(yīng)氣體量增加過度，珠海共濺射真空鍍膜技術(shù)，化合物覆蓋面積增加，如果不能及時(shí)調(diào)整反應(yīng)氣體流量，珠海共濺射真空鍍膜技術(shù)，珠海共濺射真空鍍膜技術(shù)，化合物覆蓋面積增加的速率得不到防止，濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋，當(dāng)濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候，靶完全中毒，不能繼續(xù)濺射磁控濺射一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍。珠海共濺射真空鍍膜技術(shù)</p><div style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="珠海共濺射真空鍍膜技術(shù),真空鍍膜" src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346443485231/3119253.png"></div><p style="text-indent:25px">熱氧化是在一定的溫度和氣體條件下，使硅片表面氧化一定厚度的氧化硅的。主要有干法氧化和濕法氧化，干法氧化是在硅片表面通入氧氣，硅片與氧化反應(yīng)生成氧化硅，氧化速率比較慢，氧化膜厚容易控制。濕法氧化在爐管當(dāng)中通入氧氣和氫氣，兩者反應(yīng)生長水蒸氣，水蒸氣與硅片表面反應(yīng)生長氧化硅，濕法氧化，速率比較快，可以生長比較厚的薄膜。對于薄膜應(yīng)力主要有以下原因：1.薄膜生長初始階段，薄膜面和界面的表面張力的共同作用；2.沉積過程中膜面溫度遠(yuǎn)高于襯底溫度產(chǎn)生熱應(yīng)變；3.薄膜和襯底間點(diǎn)陣錯(cuò)配而產(chǎn)生界面應(yīng)力；4.金屬膜氧化后氧化物原子體積增大產(chǎn)生壓應(yīng)力；5.斜入射造成各向異性成核、生長；6.薄膜內(nèi)產(chǎn)生相變或化學(xué)組分改變導(dǎo)致原子體積變化。湖南貴金屬真空鍍膜加工廠等離子體增強(qiáng)氣相沉積法已被普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體器件工藝當(dāng)中。</p><div style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="珠海共濺射真空鍍膜技術(shù),真空鍍膜" src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346282849786/535107.png"></div><p style="text-indent:25px">針對PVD制備薄膜應(yīng)力的解決辦法主要有：1.熱退火處理，薄膜中存在的各種缺陷是產(chǎn)生本征應(yīng)力的主要原因，這些缺陷一般都是非平衡缺陷，有自行消失的傾向，但需要外界給予活化能。對薄膜進(jìn)行熱處理，非平衡缺陷大量消失，薄膜內(nèi)應(yīng)力卓著降低；2.添加亞層控制多層薄膜應(yīng)力，利用應(yīng)變相消原理，在薄膜層之間再沉積一層薄膜，控制工藝使其呈現(xiàn)與結(jié)構(gòu)薄膜相反的應(yīng)力狀態(tài)，緩解應(yīng)力帶來的破壞作用，整體上抵消內(nèi)部應(yīng)力；3.提高襯底溫度，有利于薄膜和襯底間原子擴(kuò)散，并加速反應(yīng)過程，有利于形成擴(kuò)散附著，降低內(nèi)應(yīng)力。</p><p style="text-indent:25px">在電子束加熱裝置中，被加熱的材料放置于水冷的坩堝當(dāng)中，可避免蒸發(fā)材料與坩堝壁發(fā)生反應(yīng)影響薄膜的質(zhì)量，因此，電子束蒸發(fā)沉積法可以制備高純薄膜。LPCVD反應(yīng)的能量源是熱能，通常其溫度在500℃-1000℃之間，壓力在0.1Torr-2Torr以內(nèi)，影響其沉積反應(yīng)的主要參數(shù)是溫度、壓力和氣體流量，它的主要特征是因?yàn)樵诘蛪涵h(huán)境下，反應(yīng)氣體的平均自由程及擴(kuò)散系數(shù)變大，膜厚均勻性好、臺階覆蓋性好。目前采用LPCVD工藝制作的主要材料有：多晶硅、單晶硅、非晶硅、氮化硅等。電子束蒸發(fā)法是真空蒸發(fā)鍍膜中常用的一種方法，是在高真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料，使蒸發(fā)材料氣化并向襯底輸運(yùn)，在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法。利用PECVD生長的氮化硅薄膜薄膜應(yīng)用范圍廣，設(shè)備簡單，易于產(chǎn)業(yè)化。</p><div style="width:100%;text-align: center;"><img style="max-width: 640px; max-height: 320px;" alt="珠海共濺射真空鍍膜技術(shù),真空鍍膜" src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346254001587/8480104.png"></div><p style="text-indent:25px">PECVD在低溫范圍內(nèi)（200-350℃），沉積速率會隨著基片溫度的升高而略微下降，但不是太明顯。PECVD生長氧化硅薄膜是一個(gè)比較復(fù)雜的過程，薄膜的沉積速率主要受到反應(yīng)氣體比例、RF功率、反應(yīng)室壓力、基片生長溫度等。在一定范圍內(nèi)，提高硅烷與笑氣的比例，可提供氧化硅的沉積速率。在RF功率較低的時(shí)候，提升RF功率可提升薄膜的沉積速率，當(dāng)RF增加到一定值后，沉積速率隨RF增大而減少，然后趨于飽和。在一定的氣體總量條件下，沉積速率隨腔體壓力增大而增大。蒸發(fā)速率正比于材料的飽和蒸氣壓，溫度變化10%左右，飽和蒸氣壓就要變化一個(gè)數(shù)量級左右。貴州貴金屬真空鍍膜</p><p style="text-indent:25px">通過PVD制備的薄膜通常存在應(yīng)力問題，不同材料與襯底間可能存在壓應(yīng)力或張應(yīng)力。珠海共濺射真空鍍膜技術(shù)</p><p style="text-indent:25px">磁控濺射由于其內(nèi)部電場的存在，還可在襯底端引入一個(gè)負(fù)偏壓，使濺射速率和材料粒子的方向性增加。所以磁控濺射常用來沉積TSV結(jié)構(gòu)的阻擋層和種子層，通過對相關(guān)參數(shù)的調(diào)整和引入負(fù)偏壓，可以實(shí)現(xiàn)高深寬比的薄膜濺射，且深孔內(nèi)壁薄膜連續(xù)和良好的均勻性。通過PVD制備的薄膜通常存在應(yīng)力問題，不同材料與襯底間可能存在壓應(yīng)力或張應(yīng)力，在多層膜結(jié)構(gòu)中可能同時(shí)存在多種形式的應(yīng)力。薄膜應(yīng)力的起源是薄膜生長過程中的某種結(jié)構(gòu)不完整性(雜質(zhì)、空位、晶粒邊界、錯(cuò)位等)、表面能態(tài)的存在、薄膜與基底界面間的晶格錯(cuò)配等珠海共濺射真空鍍膜技術(shù)</p><p style="text-indent:25px">廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所主要經(jīng)營范圍是電子元器件，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場口碑。公司業(yè)務(wù)涵蓋微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù)，紫外光刻技術(shù)服務(wù)，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念，在電子元器件深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn)，發(fā)揮人才優(yōu)勢，打造電子元器件良好品牌。在社會各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn)，為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。</p></p><br /><p>文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/2890305.html</p></div></div></div></div></div><div id="kievmdj" class="page-right twoColRt"><div id="yhov3iy" class="box01 margin10 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clearfix"><ul class="box-list"><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168384.html"><div id="ibxtvhy" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420927862704157/9135298.png" alt="珠海感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>珠海感應(yīng)耦合等離子刻蝕材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168385.html"><div id="on2wiea" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928331288159/8185029.png" alt="遼寧氧化硅材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>遼寧氧化硅材料刻蝕廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168386.html"><div id="37flxtk" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928248583041/7150485.png" alt="云南EB真空鍍膜廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>云南EB真空鍍膜廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168387.html"><div id="bfbs8df" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928292411100/5112390.png" alt="吉林真空鍍膜代工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>吉林真空鍍膜代工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168388.html"><div id="2tpbdjk" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928308485383/3307271.png" alt="重慶MEMS光刻廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>重慶MEMS光刻廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168392.html"><div id="k7njfhi" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928341961931/1525583.png" alt="磁控濺射真空鍍膜廠商廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>磁控濺射真空鍍膜廠商廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168393.html"><div id="l3pwy8i" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928275370133/4122869.png" alt="山東光刻服務(wù)價(jià)格廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>山東光刻服務(wù)價(jià)格廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168394.html"><div id="ivipwso" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420927897147462/8060216.png" alt="山東微納加工平臺廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>山東微納加工平臺廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li></ul></div></div><div id="ck8dfvw" class="page-proshow02"><p class="title">同類產(chǎn)品推薦 <span><a href="http://www.cdcfah.com/cp/first-_dzyqj/">更多>></a></span></p><div id="aoagky3" class="box box-add clearfix"><ul class="box-list"><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/3053691.html"><div id="zik8bhi" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343031752492/2519204.png" alt="上海硅材料刻蝕公司廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>上海硅材料刻蝕公司廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/3204747.html"><div id="8yekbne" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430344898669097/6647793.png" alt="中山功率器件微納加工廠廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>中山功率器件微納加工廠廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2168388.html"><div id="tw83n3p" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637420928308485383/3307271.png" alt="重慶MEMS光刻廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>重慶MEMS光刻廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/3204748.html"><div id="3lwsjz7" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430346443485231/3119253.png" alt="深圳光電器件真空鍍膜加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>深圳光電器件真空鍍膜加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/3200205.html"><div id="mf8mtkb" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430344829996414/6829806.png" alt="黑龍江真空鍍膜微納加工廠廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>黑龍江真空鍍膜微納加工廠廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/2370318.html"><div id="hlsel2q" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430343060072941/2374410.png" alt="河南MEMS材料刻蝕加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" onerror="javascript:this.src='/static/new_net_01/images/nopic.jpg';"></div><p>河南MEMS材料刻蝕加工廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)</p></a></li><li><a href="http://www.cdcfah.com/cp/3200203.html"><div id="h82hoam" class="reImg"><img src="https://tyunfile.71360.com/UploadFile/bdtyys888/637430342999769976/1129759.png" alt="深圳氮化硅材料刻蝕價(jià)錢廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)" class="vcenter" 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