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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:四川微納加工技術(shù),微納加工
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高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作,這類光刻技術(shù),像“寫字”一樣,通過控制聚焦電子束(光束)移動書寫圖案進(jìn)行曝光,具有比較高的曝光精度,但這兩種方法制作效率極低,尤其在大面積制作方面捉襟見肘,目前直寫光刻技術(shù)*適用于小面積的微納結(jié)構(gòu)制作。近年來,三維浮雕微納結(jié)構(gòu)的需求越來越大,如閃耀光柵、菲涅爾透鏡、多臺階微光學(xué)元件等。據(jù)悉,某公司新上市的手機產(chǎn)品中人臉識別模塊就采用了多臺階微光學(xué)元件,以及當(dāng)下如火如荼的無人駕駛技術(shù)中激光雷達(dá)光學(xué)系統(tǒng)也用到了復(fù)雜的微光學(xué)元件,四川微納加工技術(shù)。這類精密的微納結(jié)構(gòu)光學(xué)元件需采用灰度光刻技術(shù)進(jìn)行制作,四川微納加工技術(shù)。直寫技術(shù),四川微納加工技術(shù),通過在光束移動過程中進(jìn)行相應(yīng)的曝光能量調(diào)節(jié),可以實現(xiàn)良好的灰度光刻能力。微納制造技術(shù)屬國際前沿技術(shù),作為未來制造業(yè)賴以生存的基礎(chǔ)和可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。四川微納加工技術(shù)
微流控芯片是在普通毛細(xì)管電泳的基本原理和技術(shù)的基礎(chǔ)上,利用微加工技術(shù)在硅、石英、玻璃或高分子聚合物基質(zhì)材料上加工出各種微細(xì)結(jié)構(gòu),如管道、反應(yīng)池、電極之類的功能單元,完成生物和化學(xué)等領(lǐng)域中所涉及的樣品制備、生化反應(yīng)、處理(混合、過濾、稀釋)、分離檢測等一系列任務(wù),具有快速、高效、低耗、分析過程自動化和應(yīng)用范圍廣等特點的微型分析實驗裝置。目前已成為微全分析系統(tǒng)(micrototalanalysissystems,μ-TAS)和芯片實驗室(labonachip)的發(fā)展重點和前沿領(lǐng)域。為常見的聚合物微流控芯片形式。近年來,由于生化分析的復(fù)雜性和多樣性需求,微流控芯片技術(shù)的發(fā)展愈發(fā)趨于組合化和集成化,在一塊芯片基片上集成多種功能單元成為一種常見形式,普遍應(yīng)用于醫(yī)學(xué)診斷、醫(yī)學(xué)分析、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測和燃料電池技術(shù)等諸多領(lǐng)域?;诟咄靠焖俜蛛x的需要,多通道陣列并行操作是微流控芯片的發(fā)展的趨勢,芯片微通道數(shù)量已從較初的12通道、96通道,發(fā)展到現(xiàn)在的384通道。四川微納加工技術(shù)微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件的優(yōu)化設(shè)計、加工、組裝、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù)。
仿生學(xué)是近年來發(fā)展起來的一門工程技術(shù)與生物科學(xué)相結(jié)合的交叉學(xué)科。仿生學(xué)研究生物體的結(jié)構(gòu)、功能和工作原理,并將這些原理移植于工程技術(shù)之中,試圖在技術(shù)上模仿植物和動物在自然中的功能,發(fā)明性能優(yōu)越的儀器、裝置和機器,創(chuàng)造新技術(shù)。就聚合物仿生功能材料而言,在聚合物材料表面加工出不同形式的微納結(jié)構(gòu)就會賦予材料不同的性能。超疏水表面是指水滴在表面的接觸角大于150°,同時滾動角小于10°的一種特殊表面。在過去的20年里,超疏水表面誘人的潛在應(yīng)用價值已經(jīng)引起了科學(xué)家們極大的興趣。自然界中,荷葉表面是超疏水的典型象征,其表面的接觸角高達(dá)160°。展示了荷葉的超疏水效果及其表面微觀結(jié)構(gòu)。荷葉表面的這種超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蠟狀晶體共同引起的。通過在聚合物材料表面構(gòu)建類荷葉狀的周期性微納米結(jié)構(gòu)可以獲得具有優(yōu)異超疏水性能的聚合物制品,可用于汽車后視鏡等有防水防霧需求的場合。
基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細(xì)結(jié)構(gòu),受光學(xué)衍射的極限,*適用于微米以上尺度的微細(xì)結(jié)構(gòu)制作,部分優(yōu)化的光刻工藝可能具有亞微米的加工能力。例如,接觸式光刻的分辨率可能到達(dá)0.5μm,采用深紫外曝光光源可能實現(xiàn)0.1μm。但利用這種光刻技術(shù)實現(xiàn)宏觀面積的納米/亞微米圖形結(jié)構(gòu)的制作是可欲而不可求的。近年來,國內(nèi)外比較多學(xué)者相繼提出了超衍射極限光刻技術(shù)、周期減小光刻技術(shù)等,力求通過曝光光刻技術(shù)實現(xiàn)大面積的亞微米結(jié)構(gòu)制作,但這類新型的光刻技術(shù)尚處于實驗室研究階段。微納制造技術(shù)是由零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計、加工、組裝、集成與應(yīng)用技術(shù)。
隨著聚合物精密擠出成型技術(shù)和現(xiàn)代納米技術(shù)的發(fā)展,聚合物制品逐漸向微型化發(fā)展,傳統(tǒng)擠出成型也朝著微型化發(fā)展,出現(xiàn)了微擠出成型技術(shù)。如今,微擠出成型技術(shù)常應(yīng)用于納米介入導(dǎo)管、微型光纖和微細(xì)齒輪等的制備。在聚合物熔體微擠出成型的過程中,機頭流道結(jié)構(gòu)直接影響到熔體流動的流場分布與穩(wěn)定性。不合理的機頭結(jié)構(gòu)參數(shù),將導(dǎo)致制品尺寸誤差、形狀誤差和機械性能不足等問題的出現(xiàn),出現(xiàn)諸如壁厚不均、開裂、蜜魚皮和翹曲等缺陷。國內(nèi)外學(xué)者對基于微尺度條件下的聚合物流動行為進(jìn)行了大量有意義的嘗試和研究,主要研究內(nèi)容包括微細(xì)流道聚合物溶體流動、表面張力、壁面滑移現(xiàn)象、微擠出機頭設(shè)計等。為更深入、系統(tǒng)的微擠出成型研究奠定了理論基礎(chǔ)。高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)可以通過電子束直寫或激光直寫制作。四川微納加工技術(shù)
微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科,開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。四川微納加工技術(shù)
隨著微電子、微機械、微光學(xué)、介入醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的發(fā)展,微型零件的需求量不斷增加。微注射成形作為一種微成型工藝,具有制品材料、幾何形狀和尺寸適應(yīng)性好、成本低、效率高,以及可連續(xù)化、自動化生產(chǎn)等一系列優(yōu)點,因此越來越受到人們的重視,成為當(dāng)前研究的熱門課題。1985年,世界上第1臺專門用于加工微型塑件的注射裝置Micromelt在德國問世,其它國家緊隨其后,先后開發(fā)出了各種不同類型的微注塑成型機,這為發(fā)展微注塑成型技術(shù)以及實際生產(chǎn)微小塑件都提供了強有力的支持和較有效的保證,微注塑成型技術(shù)進(jìn)入了發(fā)展的黃金時期。四川微納加工技術(shù)
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所致力于電子元器件,以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求。廣東省半導(dǎo)體所擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供微納加工技術(shù)服務(wù),真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),材料刻蝕技術(shù)服務(wù)。廣東省半導(dǎo)體所始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團(tuán)隊取得成功。廣東省半導(dǎo)體所創(chuàng)始人陳志濤,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。
文章來源地址: http://www.cdcfah.com/cp/3182230.html
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