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上海硅材料刻蝕公司 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
早期的刻蝕技術(shù)為濕法刻蝕,就是將刻蝕材料浸泡在腐蝕液中進(jìn)行腐蝕的技術(shù)。這個(gè)過程是純化學(xué)腐蝕的過程。濕法刻蝕具有良好的選擇性,例如實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常采用磷酸來腐蝕鋁金屬化...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-29 00:27:51
北京低壓氣相沉積真空鍍膜價(jià)格 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
真空蒸發(fā)鍍膜法,設(shè)備比較簡單、容易操作、制成的薄膜純度高、質(zhì)量好、膜厚容易控制,成膜速率快,效果高。在蒸發(fā)溫度以上進(jìn)行蒸發(fā)試,蒸發(fā)源溫度的微小變化即可引起蒸發(fā)速...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-29 00:27:51
上海ICP材料刻蝕平臺 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕是使用化學(xué)或者物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過程,常用的設(shè)備為刻蝕機(jī)等。通常的晶圓加工流程中,刻蝕工藝位于光刻工藝之后,有圖形的光刻膠層在刻蝕中...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-29 00:27:51
山西紫外光刻 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
普通的光刻膠在成像過程中,由于存在一定的衍射,山西紫外光刻、反射和散射,降低了光刻膠圖形的對比度,從而降低了圖形的分辨率。隨著曝光加工特征尺寸的縮小,入射光的反...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 06:21:25
湖南ITO鍍膜真空鍍膜廠家 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法,它解決了電阻加熱方式中鎢舟材料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題。同時(shí)在同一蒸發(fā)沉積裝置中可以安置多個(gè)坩...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 05:18:59
甘肅深硅刻蝕材料刻蝕加工廠商 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
濕法刻蝕是將刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進(jìn)行腐蝕的技術(shù),是利用合適的化學(xué)試劑先將未被光刻膠覆蓋的晶片部分分解,然后轉(zhuǎn)成可溶的化合物達(dá)到去除的目的。濕法刻蝕是刻蝕的一種...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 05:18:59
江蘇ITO鍍膜真空鍍膜外協(xié) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,江蘇ITO鍍膜真空鍍膜外協(xié),基本的原理是在真空中利用輝光放電(glowdischar...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 04:21:19
中山深硅刻蝕材料刻蝕代工 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
等離子刻蝕是將電磁能量(通常為射頻(RF))施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分(如氟或氯)的氣體中實(shí)現(xiàn)。等離子會釋放帶正電的離子來撞擊晶圓以去除(刻蝕)材料,并和活性自由基...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 03:16:53
安徽金屬真空鍍膜實(shí)驗(yàn)室 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
物理的氣相沉積技術(shù)具有膜/基結(jié)合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應(yīng)用的靶材普遍、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí),物理...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 02:17:46
山東數(shù)字光刻 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
敏感度決定了光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長光的較小能量值。抗蝕性決定了光刻膠作為覆蓋物在后續(xù)刻蝕或離子注入工藝中,不被刻蝕或抗擊離子轟擊,從而保護(hù)被覆蓋...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 02:17:46
江西光刻服務(wù) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
一般微電子化學(xué)品具有一定的腐蝕性,對生產(chǎn)設(shè)備有較高的要求,且生產(chǎn)環(huán)境需要進(jìn)行無塵或微塵處理。制備較優(yōu)微電子化學(xué)品還需要全封閉、自動化的工藝流程,以避免污染,提高...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 01:17:31
河北MEMS光刻 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
接觸式光刻曝光時(shí)掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點(diǎn)是可以使用價(jià)格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達(dá)到了小于0.1μm的特征尺寸,...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-28 01:17:31