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云南金屬真空鍍膜平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glowdischarge)將氬氣(Ar)離子撞擊...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 08:27:43
珠海ITO鍍膜真空鍍膜加工平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射由于其內(nèi)部電場(chǎng)的存在,還可在襯底端引入一個(gè)負(fù)偏壓,珠海ITO鍍膜真空鍍膜加工平臺(tái),使濺射速率和材料粒子的方向性增加。所以磁控濺射常用來(lái)沉積TSV結(jié)構(gòu)的阻...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 07:23:01
廣州硅材料刻蝕服務(wù)價(jià)格 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
濕刻蝕:較普遍、也是設(shè)備成本較低的刻蝕方法。其影響被刻蝕物之刻蝕速率(etchingrate)的因素有三:刻蝕液濃度、刻蝕液溫度、及攪拌(stirring)之有...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 06:22:49
廣州光電器件微納加工工藝 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細(xì)結(jié)構(gòu),受光學(xué)衍射的極限,*適用于微米以上尺度的微細(xì)結(jié)構(gòu)制作,廣州光電器件微納加工工藝,部分優(yōu)化的光刻工藝可能具有...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 04:25:44
浙江Si材料刻蝕工藝 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無(wú)圖形刻蝕。有圖形刻蝕采用掩蔽層(有圖形的光刻膠)來(lái)定義要刻蝕掉的表面材料區(qū)域,只有硅片上被選擇的這一部分在刻蝕過(guò)程中刻掉。有圖形刻蝕...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 02:20:41
中山低壓氣相沉積真空鍍膜服務(wù)價(jià)格 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射由于其內(nèi)部電場(chǎng)的存在,還可在襯底端引入一個(gè)負(fù)偏壓,使濺射速率和材料粒子的方向性增加。所以磁控濺射常用來(lái)沉積TSV結(jié)構(gòu)的阻擋層和種子層,通過(guò)對(duì)相關(guān)參數(shù)的調(diào)...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 02:20:41
上海低壓氣相沉積真空鍍膜實(shí)驗(yàn)室 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
熱氧化與化學(xué)氣相沉積不同,她是通過(guò)氧氣或水蒸氣擴(kuò)散到硅表面并進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)形成氧化硅。熱氧化形成氧化硅時(shí),會(huì)消耗相當(dāng)于氧化硅膜厚的45%的硅。熱氧化氧化過(guò)程主要分...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-26 01:22:01
廣東深硅刻蝕材料刻蝕加工廠 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
溫度越高刻蝕效率越高,但是溫度過(guò)高工藝方面波動(dòng)較大,只要通過(guò)設(shè)備自帶溫控器和點(diǎn)檢確認(rèn)??涛g流片的速度與刻蝕速率密切相關(guān)噴淋流量的大小決定了基板表面藥液置換速度的...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-25 06:23:13
東莞深硅刻蝕材料刻蝕加工 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
選擇比指的是在同一刻蝕條件下一種材料與另一種材料相比刻蝕速率快多少,它定義為被刻蝕材料的刻蝕速率與另一種材料的刻蝕速率的比?;緝?nèi)容:高選擇比意味著只刻除想要刻...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-25 06:23:13
上海半導(dǎo)體微納加工廠商 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
微納加工設(shè)備主要有:光刻、刻蝕、鍍膜、濕法腐蝕、絕緣層鍍膜等,上海半導(dǎo)體微納加工廠商。微納檢測(cè)主要是表征檢測(cè):原子力顯微鏡、掃描電鏡、掃描顯微鏡、XRD、臺(tái)階儀...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-25 06:23:13
中山共濺射真空鍍膜工藝 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射由于其內(nèi)部電場(chǎng)的存在,還可在襯底端引入一個(gè)負(fù)偏壓,使濺射速率和材料粒子的方向性增加。所以磁控濺射常用來(lái)沉積TSV結(jié)構(gòu)的阻擋層和種子層,通過(guò)對(duì)相關(guān)參數(shù)的調(diào)...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-25 05:24:37
山西金屬真空鍍膜價(jià)錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
PECVD系統(tǒng)的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣,山西金屬真空鍍膜價(jià)錢,這些鋼瓶被放置在有許多安全保護(hù)裝置的氣柜中,通過(guò)氣柜上的控制面板、管道輸送到PECVD的工藝腔...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-25 05:24:37