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浙江真空鍍膜廠家 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射方向性要優(yōu)于電子束蒸發(fā),浙江真空鍍膜廠家,但薄膜質(zhì)量,表面粗糙度等方面不如電子束蒸發(fā)。但磁控濺射可用于多種材料,適用性普遍,電子束蒸發(fā)則只能用于金屬材料...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-10 01:22:26
上海金屬真空鍍膜代工 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
電子束蒸發(fā)蒸鍍?nèi)珂u(W)、鉬(Mo)等高熔點材料,需要在坩堝的結(jié)構(gòu)上做一定的改進。高熔點的材料采用錠或者顆粒狀放在坩堝當中,因為水冷坩堝導(dǎo)熱過快,材料難以達到其...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 09:26:34
江西共濺射真空鍍膜加工平臺 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
薄膜應(yīng)力的起源是薄膜生長過程中的某種結(jié)構(gòu)不完整性(雜質(zhì)、空位、晶粒邊界,江西共濺射真空鍍膜加工平臺、錯位等)、表面能態(tài)的存在、薄膜與基底界面間的晶格錯配等磁控濺...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 09:26:34
廣東光電器件真空鍍膜實驗室 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射方向性要優(yōu)于電子束蒸發(fā),但薄膜質(zhì)量,廣東光電器件真空鍍膜實驗室,表面粗糙度等方面不如電子束蒸發(fā)。但磁控濺射可用于多種材料,適用性普遍,廣東光電器件真空鍍...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 07:22:13
湖南光電器件微納加工實驗室 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
ICP(感應(yīng)耦合等離子)刻蝕GaN是物料濺射和化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的復(fù)雜過程??涛gGaN主要使用到氯氣和三氯化硼,刻蝕過程中材料表面表面的Ga-N鍵在離子轟擊下破裂,...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 06:22:10
山東硅材料刻蝕多少錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
工藝所用化學(xué)物質(zhì)取決于要刻蝕的薄膜類型。介電刻蝕應(yīng)用中通常使用含氟的化學(xué)物質(zhì)。硅和金屬刻蝕使用含氯成分的化學(xué)物質(zhì)。在工藝中可能會對一個薄膜層或多個薄膜層執(zhí)行特定...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 05:22:07
安徽金屬真空鍍膜多少錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
PECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,就會使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于活動的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng),以在襯底在300-350℃就可...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 04:25:20
東莞真空鍍膜微納加工服務(wù) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
聚合物等溫微納米熱壓印技術(shù)同時適用于結(jié)晶型聚合物和非晶型聚合物,研究人員分別選用PP和PMMA作為兩類聚合物的象征,對較優(yōu)加工工藝及其內(nèi)在成型機理展開探索。結(jié)果...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 04:25:20
江西貴金屬真空鍍膜代工 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
在電子束加熱裝置中,被加熱的材料放置于水冷的坩堝當中,可避免蒸發(fā)材料與坩堝壁發(fā)生反應(yīng)影響薄膜的質(zhì)量,因此,電子束蒸發(fā)沉積法可以制備高純薄膜。LPCVD反應(yīng)的能量...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 04:25:20
安徽共濺射真空鍍膜價錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
電子束蒸發(fā):將蒸發(fā)材料置于水冷坩堝中,利用電子束直接加熱使蒸發(fā)材料汽化并在襯底上凝結(jié)形成薄膜,是蒸度高熔點薄膜和高純薄膜的一種主要加熱方法。真空鍍膜技術(shù)一般分為...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 03:20:49
江西Si材料刻蝕加工平臺 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
硅材料在MEMS器件當中是很重要的一種材料。在硅材料刻蝕當中,應(yīng)用于醫(yī)美方向的硅針刻蝕需要用到各向同性刻蝕,縱向和橫向同時刻蝕,硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕,...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-09 00:32:15
上海氮化鎵材料刻蝕價錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
等離子刻蝕是將電磁能量(通常為射頻(RF))施加到含有化學(xué)反應(yīng)成分(如氟或氯)的氣體中實現(xiàn)。等離子會釋放帶正電的離子來撞擊晶圓以去除(刻蝕)材料,并和活性自由基...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-08 09:31:12