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珠海Si材料刻蝕加工廠商 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
等離子刻蝕是干法刻蝕中較常見(jiàn)的一種形式。一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體。其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-13 04:25:29
佛山深硅刻蝕材料刻蝕價(jià)格 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
硅材料在MEMS器件當(dāng)中是很重要的一種材料。在硅材料刻蝕當(dāng)中,應(yīng)用于醫(yī)美方向的硅針刻蝕需要用到各向同性刻蝕,縱向和橫向同時(shí)刻蝕,硅柱的刻蝕需要用到各項(xiàng)異性刻蝕,...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-13 02:23:43
甘肅深硅刻蝕材料刻蝕加工平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕較簡(jiǎn)單較常用分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。顯而易見(jiàn),它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來(lái)進(jìn)行刻蝕。濕法刻蝕是一個(gè)純粹的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程,是指利用溶液與預(yù)刻蝕材料之...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-13 01:22:50
天津深硅刻蝕材料刻蝕公司 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
溫度越高刻蝕效率越高,天津深硅刻蝕材料刻蝕公司,但是溫度過(guò)高工藝方面波動(dòng)較大,只要通過(guò)設(shè)備自帶溫控器和點(diǎn)檢確認(rèn)??涛g流片的速度與刻蝕速率密切相關(guān)噴淋流量的大小決...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-13 00:36:20
河南氮化鎵材料刻蝕平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
等離子刻蝕是干法刻蝕中較常見(jiàn)的一種形式。一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體。其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-13 00:36:20
湖北硅材料刻蝕廠商 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
同樣的刻蝕條件,針對(duì)不同的刻蝕暴露面積,湖北硅材料刻蝕廠商,刻蝕的速率會(huì)有所不一樣。通常來(lái)說(shuō),刻蝕面積越大,刻蝕的速率越慢,暴露面積越小,刻蝕的速率越快。所以在...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 07:24:47
湖北氮化鎵材料刻蝕加工平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
雙等離子體源刻蝕機(jī)加裝有兩個(gè)射頻(RF)功率源,能夠更精確地控制離子密度與離子能量。位于上部的射頻功率源通過(guò)電感線圈將能量傳遞給等離子體從而增加離子密度,但是離...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 07:24:47
河南氧化硅材料刻蝕加工工廠 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
同樣的刻蝕條件,針對(duì)不同的刻蝕暴露面積,刻蝕的速率會(huì)有所不一樣。通常來(lái)說(shuō),刻蝕面積越大,刻蝕的速率越慢,河南氧化硅材料刻蝕加工工廠,暴露面積越小,刻蝕的速率越快...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 06:20:19
中山深硅刻蝕材料刻蝕服務(wù)價(jià)格 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕較簡(jiǎn)單較常用分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。顯而易見(jiàn),它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來(lái)進(jìn)行刻蝕。濕法刻蝕是一個(gè)純粹的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程,是指利用溶液與預(yù)刻蝕材料之...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 06:20:19
河南MEMS材料刻蝕加工 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
相比刻蝕用單晶硅材料,芯片用單晶硅材料是芯片等終端產(chǎn)品的原材料,市場(chǎng)更為廣闊,國(guó)產(chǎn)替代的需求也十分旺盛。SEMI的統(tǒng)計(jì)顯示,2018年全球半導(dǎo)體制造材料市場(chǎng)規(guī)模...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 05:20:54
山西GaN材料刻蝕加工 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
反應(yīng)離子刻蝕:這種刻蝕過(guò)程同時(shí)兼有物理和化學(xué)兩種作用。輝光放電在零點(diǎn)幾到幾十帕的低真空下進(jìn)行。硅片處于陰極電位,放電時(shí)的電位大部分降落在陰極附近。大量帶電粒子受...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 03:19:12
安徽氮化鎵材料刻蝕工藝 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
二氧化硅的干法刻蝕:刻蝕原理氧化物的等離子體刻蝕工藝大多采用含有氟碳化合物的氣體進(jìn)行刻蝕。使用的氣體有四氟化碳(CF)、八氟丙烷(C,F(xiàn)8)、三氟甲烷(CHF3...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-12 03:19:12